“诚意满满、干货满满、收获满满”——第七届国际先进光刻技术研讨会侧记

丽水经济技术开发区一隅。丽水经开区/供图

廖王晶、陈春、陈炜 中国发展改革报社记者 沈贞海

10月25日，第七届国际先进光刻技术研讨会在浙江丽水举行，来自世界各地厂商、科研机构、高校等六百多名技术专家和学者齐聚一堂，分享各自最新研究成果，探讨光刻技术解决方案，研讨即将面临的技术挑战。

近年来，集成电路产业已经成为世界各国越来越重视的战略性产业，尤其在中国，集成电路产业受到了前所未有的关注，并在政策和资本的推动下获得了蓬勃发展。基于这样的形势，国际先进光刻技术研讨会（International Workshop on Advanced Patterning Solutions, IWAPS）应运而生。自2017年以来，国际先进光刻技术研讨会已经在北京、厦门、南京、成都、佛山等地成功举办六届，会议投稿、会议报告与参会人数逐年增加，行业反响热烈。

“非常高兴第七届国际先进光刻技术研讨会能在丽水举办，这表明我国集成电路技术和产业发展已经向更深地域和层次迈进。”会议主席、中国集成电路创新联盟理事长、研究员曹健林介绍，今年研讨会延续了往届的高规格和高水准，已成为共享国内外先进光刻技术研发成果，促进我国集成电路制造技术研发与应用，开展合作与交流的重要平台。

一颗“丽水芯”承载了山区老区人民的产业梦。近年来，丽水市坚持“发展阶段不可逾越、发展阶梯可以跨越”理念，抢抓国家集成电路产业发展窗口机遇期，创新“基金招商、产业链招商、以商招商”等方式，“无中生有”培育形成特色半导体产业集群。经过四年努力，累计落地项目33个，总投资额近600亿元，初步形成“一园一链两基地”发展格局。半导体全链条产业纳入全省集成电路产业规划，丽水特色半导体产业平台获批浙江省第四批“万亩千亿”新产业培育平台。

“主办方的诚意满满，专家分享的观点干货满满，我的收获也是满满的。”听完研讨会上行业大咖的主题分享后，南方科技大学博士后元正深有感触地说。

元正的研究方向是计算电磁学，偏向底层技术研究，而光刻技术属于应用领域，和他所学有贴合性。得知丽水要举办这场光刻技术研讨会，他就自费从深圳赶了过来。“理论要和应用相结合，作为一名偏做基础的研究人员，来听听这场偏实践应用的研讨会，非常有必要。”元正说，听了光刻领域权威专家的技术分享，又和国内半导体行业最具代表性的公司进行交流，他的收获很多，对今后的研究非常有启发。

“对我们半导体企业来说，这场研讨会举办得非常好，也非常及时。”丽水经开区企业同创（丽水）特种材料有限公司负责人甘英说，丽水半导体产业经过这几年的发展，有了一定基础。此次峰会，集聚了一大批光刻领域及其相关联的半导体企业、专家学者，他们带来目前国际国内最前沿的技术的同时，也进一步打响了丽水半导体产业的名气，让更多的半导体企业在这里投资兴业，让更多的半导体人才来这里工作发展，实现梦想。

东方晶源电子科技（北京）股份有限公司等很多外地企业，也通过此次研讨会，重新认识了丽水半导体产业。企业的宣发负责人说，以前是因为柯洁知道了丽水这座城市，此次实地到访后，才发现这里竟然在短短几年里，聚集了这么多的同行企业，不仅培育形成了半导体全产业链，还要打造全国外延片主要研发生产基地和世界级超高纯钽材料生产基地，这些经验值得他们学习。

半导体产业是资金密集型产业，产业发展需要巨大的投入，此次研讨会也吸引了浙江富浙资本管理有限公司等资本方的目光。该公司投资发展部负责人介绍，近年来他们先后投资中欣晶圆外延片、抛光片，同创等丽水经开区的本土半导体优质企业，非常看好这里的产业前景。“今年4月，我们和丽水经开区等多方共同组建的共富基金正式启用，基金规模30.45亿，后续将以共富基金等市场化基金为载体引资，牵引大规模社会资金支持丽水经开区半导体产业集约化发展，为打造共同富裕美好社会山区样板倾注国资力量。”

关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的。条条大路通罗马，通往未来的路不仅只有一条，破局的关键在于找到新的船和桥。可以预见的是，通过加大研学深度、推进招商力度、延伸合作密度，丽水特色半导体产业定能成为全国集成电路发展大军中一支充满活力的“新生力量”。